ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Измерение и контроль толщины напыленных тонких пленок методом кварцевого резонатора

Степанян, А. С. and Адамян, А. З. (2004) Измерение и контроль толщины напыленных тонких пленок методом кварцевого резонатора. ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր. Ֆիզիկա, 39 (3). pp. 178-182. ISSN 0002-3035

[img]
Preview
PDF
Download (864Kb) | Preview
    Item Type: Article
    Additional Information: Փոշեցրվող բարակ թաղանթների հաստության չափումը և ղեկավարումը կվարցային ռեզոնատորի մեթոդով։ Deposited thin films thickness measurement and control by quartz resonator method.
    Uncontrolled Keywords: Ստեփանյան Ա. Ս., Ադամյան Ա. Զ., Stepanyan A. S., Adamyan A. Z.
    Subjects: Q Science > QC Physics > Molecular Physics
    Divisions: UNSPECIFIED
    Depositing User: Professor Vladimir Aroutiounian
    Date Deposited: 10 Apr 2012 11:36
    Last Modified: 19 Mar 2014 14:56
    URI: http://physics.asj-oa.am/id/eprint/432

    Actions (login required)

    View Item