ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Электронно-лучевое напыление пленок гексаборида лантана для использования в качестве антиотражающего покрытия

Кузанян, А. А. and Кузанян, А. С. and Петросян, С. И. and Кузанян, В. С. and Бадалян, Г. Р. (2020) Электронно-лучевое напыление пленок гексаборида лантана для использования в качестве антиотражающего покрытия. ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր. Ֆիզիկա, 55 (2). pp. 240-250. ISSN 0002-3035

[img] PDF
Download (979Kb)

    Abstract

    The development of effective anti-reflective coatings of electromagnetic radiation is a necessary basis for solving a wide range of fundamental and applied problems. We studied the conditions for the preparation of lanthanum hexaboride (LaB6) films by electron beam deposition on Al2O3, AlN, ZrO2, Si, W substrates, and CeB6 and W coatings. The phase and elemental composition, microstructure and optical characteristics of samples obtained under various deposition conditions were studied. Разработка эффективных антиотражающих покрытий электромагнитного излучения является необходимой основой для решения широкого круга фундаментальных и прикладных задач. Мы исследовали условия получения методом электронно-лучевого напыления нанокристаллических пленок гексаборида лантана (LaB6) на подложках Al2O3, AlN, ZrO2, Si , W и покрытиях CeB6 и W. Исследованы фазовый и элементный состав, микроструктура и оптические характеристики образцов, полученных при различных условиях напыления. Изучена взаимосвязь спектров отражения и шероховатости поверхности образцов. Определена область электромагнитного спектра, в которой полученные пленки могут использоваться в качестве антиотражающих покрытийThe relationship between the reflection spectra and surface roughness of the samples was investigated. The region of the electromagnetic spectrum in which the obtained films can be used as anti-reflection coatings is determined. The relationship between the reflection spectra and surface roughness of the samples deposited on various substrates under various conditions was studied. The region of the electromagnetic spectrum in which the obtained films can be used as antireflection coatings is revealed.

    Item Type: Article
    Additional Information: Electron Beam Deposition of Lantane Hexaboride Films for Usage as Anti-Reflective Coating
    Uncontrolled Keywords: Kuzanyan A. A., Kuzanyan A. S., Petrosyan S. I. , Kuzanyan V. S., Badalyan G. R.
    Subjects: Q Science > QC Physics
    Divisions: UNSPECIFIED
    Depositing User: Professor Vladimir Aroutiounian
    Date Deposited: 19 Jun 2020 17:35
    Last Modified: 19 Jun 2020 17:35
    URI: http://physics.asj-oa.am/id/eprint/3955

    Actions (login required)

    View Item