ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Моделирование оптических свойств чёрного кремния, пассивированного тонкими плёнкамиоксидов металлов

Катков, М. В. and Айвазян, Г. E. and Шаяпов, В. Р. and Лебедев, М. С. (2020) Моделирование оптических свойств чёрного кремния, пассивированного тонкими плёнкамиоксидов металлов. ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր. Ֆիզիկա, 55 (1). pp. 24-32. ISSN 0002-3035

[img]
Preview
PDF
Download (1550Kb) | Preview

    Abstract

    Методом конечных разностей во временной области (FDTD) исследованы оптические свойства слоев черного кремния (b-Si), пассивированных пленками оксидов различных металлов (Al2O3, TiO2, HfO2 и Sc2O3), полученных методом атомно-слоевого осаждения (ALD). Ժամանակային տիրույթում վերջավոր տարբերությունների (FDTD) մեթոդով ուսումնասիրվել են սև սիլիցիումի (b-Si) շերտերի օպտիկական հատկությունները, որոնք պասսիվացված են ատոմաշերտային նստեցման (ALD) մեթոդով ստացված տարբեր մետաղական օքսիդների (Al2O3, TiO2, HfO2 և Sc2O3) թաղանթներով: FDTD մոդելավորման արդյունքները վկայում են սպեկտրային լայն տիրույթում b-Si/ALD թաղանթ-կառուցվածքների հակաանդրադարձնող հատկությունների լավացումը: Ցույց է տրվել թաղանթի օպտիմալ հաստության ընտրության անհրաժեշտությունը: Using the Finite Difference Time Domain (FDTD) method, we studied the optical properties of black silicon (b-Si) layers passivated with various metal oxides (Al2O3, TiO2, HfO2, and Sc2O3) films, obtained by atomic layer deposition (ALD) method. The results of FDTD modeling indicate an improvement in the antireflection properties of b-Si/ALD film structures in the wide spectral range. The necessity of choosing the optimal film thickness is shown.

    Item Type: Article
    Additional Information: Մետաղական օքսիդների բարակ թաղանթներով պասսիվացված սև սիլիցիումի օպտիկական հատկությունների մոդելավորումը; Modeling of the Optical Properties of Black Silicon Passivated by Thin Films of Metal Oxides
    Uncontrolled Keywords: Կատկով Մ. Վ., Այվազյան Գ. Ե., Շայապով Վ. Ռ., Լեբեդև Մ. Ս., Katkov M. V., Ayvazyan G. Y., Shayapov V. R., Lebedev M. S.
    Subjects: Q Science > QC Physics > Chemical Physics
    Divisions: UNSPECIFIED
    Depositing User: Professor Vladimir Aroutiounian
    Date Deposited: 18 Jun 2020 21:13
    Last Modified: 19 Jun 2020 15:48
    URI: http://physics.asj-oa.am/id/eprint/3923

    Actions (login required)

    View Item