ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Определение коэффициента преломления и толщины наноразмерных пленок аморфного углерода по спектрам отражения видимого диапазона

Дабагян, Г. А. and Матевосян, Л. А. and Авджян, К. Э. (2019) Определение коэффициента преломления и толщины наноразмерных пленок аморфного углерода по спектрам отражения видимого диапазона. ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր. Ֆիզիկա, 54 (2). pp. 249-252. ISSN 0002-3035

[img]
Preview
PDF
Download (297Kb) | Preview

    Abstract

    Из спектров отражения в видимом диапазоне длин волн экспериментально определены значения толщины и коэффициента преломления (1.92 < nf < 2.19) аморфных наноразмерных пленок углерода, полученных на подложке кристаллического кремния методом лазерно-импульсного осаждения. Полученные пленки могут быть использованы в качестве однослойных антиотражающих покрытий для полупроводников Si и GaAs. The values of thickness and refractive index (1.92 < nf < 2.19) of amorphous nanosized carbon films obtained on a crystalline silicon substrate by pulsed laser deposition were experimentally determined via an analysis of visible range reflection spectra. Obtained films can be used as single-layer anti-reflective coatings for semiconductors Si and GaAs.

    Item Type: Article
    Additional Information: Determination of Refractive Index and Thickness of Nanosized Amorphous Carbon Films via Visible Range Reflectance Spectra
    Uncontrolled Keywords: Dabaghyan G. A., Matevosyan L. M., Avjyan K. E.
    Subjects: Q Science > QC Physics > Optics. Light
    Divisions: UNSPECIFIED
    Depositing User: Professor Vladimir Aroutiounian
    Date Deposited: 28 Jun 2019 13:24
    Last Modified: 30 Sep 2019 20:30
    URI: http://physics.asj-oa.am/id/eprint/3749

    Actions (login required)

    View Item