ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Исследование параметров управляемой радиоизлучением «холодной» плазмы в реакторе с емкостной связью

Саргсян, С. Т. (2019) Исследование параметров управляемой радиоизлучением «холодной» плазмы в реакторе с емкостной связью. ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր. Ֆիզիկա, 54 (1). pp. 138-143. ISSN 0002-3035

[img]
Preview
PDF
Download (513Kb) | Preview

    Abstract

    В настоящей статье рассмотрен плазменный реактор с емкостной связью, в котором ионизация молекул инертного газа осуществляется посредством радиочастотного излучения. Рассмотрена система управления и измерения электрических и оптических параметров плазмы. Приводится качественная оценка распределения энергии носителей заряда. This article describes a capacitive coupled plasma reactor, where the inert gas molecules are ionized by the radio frequency radiation. The control and measurement system of electrical and optical parameters of the plasma is considered. A qualitative estimation of the energy distribution of charges is proposed.

    Item Type: Article
    Additional Information: Ռադիոճառագայթմամբ ղեկավարվող «սառը» պլազմայի պարամետրերի ուսումնասիրումը ունակային կապով ռեակտորում; Investigation of RF Originated «Cold» Plasma Parameters in Capacitive Coupled Reactor
    Uncontrolled Keywords: Սարգսյան Ս. Թ., Sargsyan S. T.
    Subjects: Q Science > QC Physics > Radiation physics (General)
    Q Science > QC Physics > Plasma Physics
    Q Science > QC Physics > Radiophysics
    Divisions: UNSPECIFIED
    Depositing User: Professor Vladimir Aroutiounian
    Date Deposited: 11 Apr 2019 17:49
    Last Modified: 30 Sep 2019 20:18
    URI: http://physics.asj-oa.am/id/eprint/3737

    Actions (login required)

    View Item