ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Физические характеристики пленок молибдена, осажденных на перлитовых стеклокерамических подложках методом магнетронного распыления

Арутюнян, Л. А. and Петросян, С. Г. and Авджян, К. Э. (2015) Физические характеристики пленок молибдена, осажденных на перлитовых стеклокерамических подложках методом магнетронного распыления. ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր. Ֆիզիկա, 50 (2). pp. 236-241. ISSN 0002-3035

[img]
Preview
PDF
Download (216Kb) | Preview

    Abstract

    Приведены результаты исследования физических характеристик пленок молибдена, осажденных с помощью магнетронного распыления на перлитовых стеклокерамических подложках в аргоновой среде. Установлено, что пленки, полученные при температуре подложки выше 250°C, обладают хорошей адгези-ей и характеризуются прочностью сцепления более 30 МПа. The results of the study of the physical characteristics of molybdenum films deposited by magnetron sputtering on perlite glass-ceramic substrates in an argon environment are presented. It is found that the films prepared at a substrate temperature higher than 250°C, have good adhesion and bonding strength characterized by more than 30 MPa.

    Item Type: Article
    Additional Information: Physical characteristics of molybdenum films deposited by magnetron sputtering on perlite glass-ceramic substrates
    Uncontrolled Keywords: Harutyunyan L. A., Petrosyan S. G., Avjyan K. E.
    Subjects: Q Science > QC Physics > Electricity and magnetism
    Divisions: UNSPECIFIED
    Depositing User: Professor Vladimir Aroutiounian
    Date Deposited: 07 May 2015 16:11
    Last Modified: 16 Oct 2019 10:24
    URI: http://physics.asj-oa.am/id/eprint/3500

    Actions (login required)

    View Item