ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Статические и шумовые характеристики нанокомпозитных газовых сенсоров

Оганесян, Р. В. and Хондкарян, Г. Д. and Алексанян, М. С. and Аракелян, В. М. and Семерджян, Б. О. and Арутюнян, В. М. and Гаспарян, Ф. В. (2014) Статические и шумовые характеристики нанокомпозитных газовых сенсоров. ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր. Ֆիզիկա, 49 (4). pp. 241-251. ISSN 0002-3035

[img]
Preview
PDF
Download (545Kb) | Preview

    Abstract

    Методoм магнетронного распыления изготовлены тонкослойные газовые сенсоры на основе нанокомпозита In2O3·Ga2O3·SnO2 (70:20:10). Описан технологический цикл изготовления сенсоров. Исследованы низкочастотные шумы сенсоров в диапазоне частот 1–300 Гц, а также их резистивная и шумовая чувствительности при температуре рабочего тела 250ºС. Բարձրհաճախային մագնետրոնային փոշեցրման եղանակով In2O3·Ga2O3·SnO2 (70:20:10) նանոկոմպոզիտի հիման վրա պատրաստված են բարակթաղանթային գազային սենսորներ: Նկարագրված է սենսորների պատրաստման տեխնոլոգիական եղանակը: Աշխատանքային մարմնի 250ºС ջերմաստիճանում հետազոտվել են սենսորների ռեզիստիվ և աղմկային զգայնությունները, ինչպես նաև դրանց ցածրհաճախային աղմուկները հաճախությունների 1–300 Հց տիրույթում: Thin film gas sensors made of nanocomposite In2O3·Ga2O3·SnO2 (70:20:10) have been manufactured by high-frequency magnetron sputtering method. The technological cycle of sensors manufacturing processes is described. Sensitivity of the prepared sensors at the temperature of working body 250ºС and low frequency noises within the 1–300 Hz range were investigated.

    Item Type: Article
    Additional Information: Նանոկոմպոզիտային գազային տվիչների ստատիկ և աղմկային բնութագրերը։ Static and noise characteristics of nanocomposite gas sensors.
    Uncontrolled Keywords: Հովհաննիսյան Ռ. Վ., Խոնդկարյան Հ. Դ., Ալեքսանյան Մ. Ս., Առաքելյան Վ. Մ., Սեմերջյան Բ. Օ., Գասպարյան Ֆ. Վ., Հարությունյան Վ. Մ., Hovhannisyan R. V., Khondkaryan H. D., Aleksanyan M. S., Arakelyan V. M., Semerjyan B. O., Gasparyan F. V., Aroutiounian V. M.
    Subjects: Q Science > QC Physics > Radiophysics
    Divisions: UNSPECIFIED
    Depositing User: Professor Vladimir Aroutiounian
    Date Deposited: 11 Jun 2014 14:27
    Last Modified: 13 Jun 2014 11:09
    URI: http://physics.asj-oa.am/id/eprint/3441

    Actions (login required)

    View Item