ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Особенности фазообразования пленок Er2O3 в процессе электронно-лучевого напыления

Агамалян, Н. Р. and Овсепян, Р. К. and Кафадарян, Е. А. and Костанян, Р. Б. and Петросян, С. И. and Ширинян, Г. О. and Абдуев, А. Х. and Асваров, А. Ш. (2012) Особенности фазообразования пленок Er2O3 в процессе электронно-лучевого напыления. ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր. Ֆիզիկա, 47 (5). pp. 359-365. ISSN 0002-3035

[img]
Preview
PDF
Download (225Kb) | Preview

    Abstract

    Методом электронно-лучевого напыления в вакууме получены кристаллические пленки Er2O3 на подложках из сапфира и кремния. Уменьшением скорости выращивания достигнуто получение однофазной пленки оксида эрбия с кубической решеткой и преимущественной ориентацией (400).Crystalline Er2O3 films on sapphire and silicon substrates have been prepared by electron beam evaporation technique in vacuum. Preparation of a single-phase erbium oxide film with a cubic lattice and preferred (400) orientation was achieved by means of growth rate decrease.

    Item Type: Article
    Additional Information: Features of phase formation of Er2O3 films during electron-beam evaporation
    Uncontrolled Keywords: Aghamalyan N. R., Hovsepyan R. K., Kafadaryan E. A., Kostanyan R. B., Petrosyan S. I., Shirinyan G. H., Abduev A. Kh., Asvarov A. Sh.
    Subjects: Q Science > QC Physics > Optics. Light
    Divisions: UNSPECIFIED
    Depositing User: Professor Vladimir Aroutiounian
    Date Deposited: 18 Sep 2013 13:05
    Last Modified: 18 Oct 2019 10:11
    URI: http://physics.asj-oa.am/id/eprint/3341

    Actions (login required)

    View Item