ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Ֆիզիկա = Proceedings of the NAS RA: Physics

Газовый сенсор на основе наноразмерной пленки In2O3:Ga2O3

Алексанян, М. С. and Аракелян, В. М. and Арутюнян, В. М. and Адамян, А. З. and Шахназарян, Г. Э. (2010) Газовый сенсор на основе наноразмерной пленки In2O3:Ga2O3. ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր. Ֆիզիկա, 45 (6). pp. 447-455. ISSN 0002-3035

[img]
Preview
PDF
Download (643Kb) | Preview

    Abstract

    Наноразмерные пленки In2O3:Ga2O3 (96:4 вес.%) были осаждены на ситалловую подложку методом высокочастотного магнетронного распыления. Поверхность изготовленных пленок исследована с помощью сканирующего электронного микроскопа, определены размеры зерен, измерена толщина пленок. In2O3:Ga2O3 (96:4 wt.%) nanosize films were deposited on glass-ceramic substrates by highfrequency magnetron sputtering. The surfaces of prepared films were investigated by scanning electron microscopy, the sizes of grains were determined, and the thicknesses of films were measured.

    Item Type: Article
    Additional Information: Գազային սենսոր նանոչափային In2O3:Ga2O3 թաղանթի հիման վրա։ Gas sensor based on nanosize In2O3:Ga2O3 film.
    Uncontrolled Keywords: Ալեքսանյան Մ. Ս., Առաքելյան Վ. Մ., Հարությունյան Վ. Մ., Ադամյան Ա. Զ., Շահնազարյան Գ. Է., Aleksanyan M. S., Arakelyan V. M., Aroutiounian V. M., Adamyan A. Z., Shahnazaryan G. E.
    Subjects: Q Science > QC Physics > Radiophysics
    Divisions: UNSPECIFIED
    Depositing User: Professor Vladimir Aroutiounian
    Date Deposited: 23 Dec 2011 16:30
    Last Modified: 27 Mar 2014 15:43
    URI: http://physics.asj-oa.am/id/eprint/122

    Actions (login required)

    View Item